SLK形 渦流量計
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SLK
特長
- 可動部が無いシンプル構造、高精度、高耐久のカルマン渦式液体流量計です。
- 低圧損設計で、幅広い流量範囲を安定計測できます。
- CEマーキング、UL規格対応品もございます。
用途
半導体・液晶製造装置
共通仕様
電源電圧：DC12～24V±10%
消費電流：100mA以下
流体温度：0～90℃（SLK-053形のみ0～60℃）
使用周囲温度：0～50℃
使用周囲湿度：95%RH以下
精度：±2%FS（SLK-053形は20℃の水）
応答性：約1秒
使用流体：純水、薬液など各種流体（本体材質を侵さないこと）
流量範囲：4～90L/min