QLK形 渦流量計
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QLK
特長
- 可動部が無いシンプル構造、高精度・高耐久のカルマン渦式液体流量計です。
- 低圧損設計で、幅広い流量範囲を安定計測できます。
- 強磁界中でも使用可能です。
用途
半導体・液晶製造装置
共通仕様
電源電圧：DC3V（単3形電池×2、出力無し）
最高使用圧力：本体15A…0.6MPa、20A…0.5MPa
使用周囲温度：0～50℃
精度：±2%FS
使用流体：純水、薬液など各種流体（本体材質を侵さないこと）
流量範囲：0.4～90L/min
QLK
半導体・液晶製造装置
電源電圧：DC3V（単3形電池×2、出力無し）
最高使用圧力：本体15A…0.6MPa、20A…0.5MPa
使用周囲温度：0～50℃
精度：±2%FS
使用流体：純水、薬液など各種流体（本体材質を侵さないこと）
流量範囲：0.4～90L/min