半導体チラー
半導体製造装置では、微細加工やプロセスの安定性を確保するために、冷却水の温度を高精度で制御するチラーが不可欠です。 高負荷・高精度化が要求される工程を最適化し、製造品質の向上と装置の安定稼働をサポートします。
当社では、半導体チラーに必要な膨張弁、電磁弁、容量調整弁、プレート式熱交換器やその他関連する周辺機器など、冷却システムを構成する製品を幅広く取り揃えています。
半導体製造装置では、微細加工やプロセスの安定性を確保するために、冷却水の温度を高精度で制御するチラーが不可欠です。 高負荷・高精度化が要求される工程を最適化し、製造品質の向上と装置の安定稼働をサポートします。
当社では、半導体チラーに必要な膨張弁、電磁弁、容量調整弁、プレート式熱交換器やその他関連する周辺機器など、冷却システムを構成する製品を幅広く取り揃えています。